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第168章 二代半光刻机

赵烨和慈教授,再一次蹲在了八号实验室的地下车间,就跟几年前差不多的一个情景。

看着满地的零部件,慈教授一阵牙疼。

赵烨这一次真的是一反常态,说是要升级光刻机,可是,既没有升级的技术路线资料,也没有一个验证实验报告。更夸张的是,连个设计图都没有!

这哪里是搞科研的态度?慈教授刚刚的兴奋,立马就被赵烨的这种“儿戏”的科学态度,弄的火冒三丈!

我是这么教你的吗?

两个人就这样,一边争论,一边进行。

赵烨虽然没有画图,但他脑子里有完整的设计思路,甚至有完整的设计图。

他只是把现实里的东西,一点点拼接成自己脑海中的样子。

当然了,零件大部分还是二代光刻机的零部件,只不过,在一些部位作出修改。

修改的部分也简单,赵烨需要什么,基本上都是现场加工。慈教授和谢教授看着赵烨的一通操作,真的无法想象。

这怎么看都像街头的烂木匠打家具,完全是试着来!

“赵烨,你这到底在弄什么呀?你这连个图纸都没有,能行吗?”

慈教授再次忍不住的说了这么一句。坦白讲,他一点信心都没有。赵烨的这个做法,是违背科研常识的。

“老师,放心吧,我只是在之前的设备上稍加改进,并没有做什么大的改动。原理跟以前还是一样的。”

“那你做了哪方面的改进?说明文件你总得写一个吧!你要是没时间,你跟我说说,我来写也行。”

“害,就是个小改动,写不写的不着急。我们先把成品做出来,等改进完成了,咱们有的是时间写,您说对吧?”

“改完了写?改完了还写那个干什么用?”慈教授终于忍不住了,你大学白上了?做研究的基本程序你都不记得了?真是后悔了,当初就不该让你毕业!

“你们这师徒俩就别争了,再争下去,天都要黑了!”谢教授实在听不下去了,这师徒俩的争论一整天都没停下来过。

其实谢教授也能理解慈教授的心思,做研究的人就是这样,只要看到了新技术,都想第一时间了解他的全貌。现在看着自己的学生一步步的操作,自己却不知道原理和方法,心里着急是肯定的。

整整两天时间,赵烨才把相应的部件做完,整台设备也组装完毕了。

“怎么感觉有点怪呢?”慈教授看着眼前的设备,自言自语的说道。

“老师,一会儿您就知道了。”赵烨说完,就开始操作设备,给硅晶片做前期加工准备。

“烨子,你用的光刻胶是新的配方工艺吗?我看跟之前用的不太一样。”谢教授看到赵烨加注到设备里的材料,跟之前的材料有很大的区别,这才有了这一问。

“嗯,是的,为了配合新设备,之前的光刻胶我做了一些改进。”赵烨手上不停,嘴里跟谢教授解释道。

一套准备工作完成,赵烨又回到了光刻机这边。两位教授看着赵烨,在光刻机的一个玻璃容器内,加注了一种澹蓝色的液体。

“这是什么?”

“水。”

“什么水?”

“纯净水,纯净度四个九的水。”赵烨解释道。水在一步步洁净之后,就会呈现出这样的澹蓝色。

赵烨没有再多说,而是准备亲自操作眼前新组装出来的光刻机,实验一下他的想法。

“赵烨,为什么要加水?什么原理?”慈教授瞪大眼睛看着,脑子里充满了各种风暴。

“老师,这其实是利用了水的折射,通过一层水的折射,

光照在照到硅晶片上的时候,就会自然朝着一个方向发生偏移。只要我们控制好曝光的角度和方向,就能把芯片的制程提高一个等级。”

“水的折射?这么简单?”慈教授听到这个答桉,简直不敢相信。

“这一点都不简单,我看烨子这个设计,确实是花了心思的。你想一想,水是液体,如何控制水的波动,这就是一个大问题。”谢教授看完了赵烨的操作,这才仔细的看赵烨的设计思路,说真的,她是佩服的五体投地。

如此精巧设计,真的可以用大巧若拙来形容。

“老师,说真的,这有点投机取巧了。我们用这个方法虽然提高了制程,但是他的局限性依然是很大的。靠这种方法,只能在现有的理论基础上,做到很精细化的加工。”赵烨解释道。

“这就很好了呀!”慈教授越想越觉得赵烨是个真正的天才。

说真的,跟赵烨比起来,这个实验室的人都应该汗颜,包括他在内,用了一年多的时间,也没能把芯片的加工工艺提高一步,可是赵烨呢?才回来几天?这么短的时间内,就把工艺又提高了一步。

“慈老师,谢老师,要想真正的把芯片的制程工艺提高的下一个数量级,靠这样的方法是不行的。我们还是要寻找理论突破的方法。”

两位教授点点头,赵烨说的是实话,芯片的进步,不仅仅是靠这样的加工水平的提高就能提高的。

如何在更小的空间,布置更多的晶体管,这个问题还涉及到晶体管理论上的突破。在赵烨的前世,从五微米到三微米,那是微电子领域一次全方面的突破,尤其是微型晶体管的理论上,从非穿透pn结到穿透型pn结的跨越。

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