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第164章 浸入式光刻技术

四合院:芯生年代

兜兜转转一圈下来,赵烨发觉再搞出三微米技术之前,他必须还要脚踏实地的搞出一个中间阶段来。

直接上三微米,目前面临的问题太多了。不是说硬上不行,而是就算做出来了,在应用上一系列的设备根本就支持不了。

这就好比火车提速,不是说你的火车发动机功率足够就可以了,你要想跑得快,从车厢设计,转向架,车轮,钢轨,弯道,线路,等等等等,都要符合提速后的要求才行。这些东西不支持,你光有一个发动机是不够的。

第二代光刻技术如今已经很成熟了。

半自动化的操作,让成品率保持在了一个能够接受的范围内。如今赵烨看着实验室里的这台设备,想的是一个投机取巧的办法。说白了,就是把现在的干法蚀刻,变成湿法蚀刻。

简单来讲,就是把要照射的硅晶片,浸到水里。

水是种透明的液体,纯净的水,在一定温度下,它的折射率是固定的。那么把硅晶片放到水里,在紫外光照射到硅晶片之前,要先经过水的折射。

只要控制好掩模和光照的方向,就能在现有的设备基础上,把制程工艺提高半步。

这样一来,之前制程,就能进步到5微米上下了。

有了这个工艺方法,赵烨就可以在以后的技术升级中,占有一定的优势。

设想是好的,不过想要实现这个技术,难度也很大。

比如水是液体,在工作台晃动的时候,水是会跟着动的,而且在工作台停下来的时候,水是不会立刻就停止运动的。

这样一来,如果光线照射下来,就会因为水的不均匀,似的折射角度发生极大的偏差。

所以这个时候,就要求工作台不能移动,或者是说不能过多移动。

还有一种方法,是把液体的盛在一个密闭的容器里,这样就能避免液体的波动造成的误差。

不过这样一来,也有它的弊端,一是操作不便,效率低下。再者就是用于密封的容器,本身就可以看成一组镜片。他的纯净度和折射率同样是不规整的。

假如可以做出纯净度和折射率都很完美的玻璃,那直接做透镜组就好啦,干嘛还用来做容器呢?这就是多此一举了。

用水,本身就是利用了纯净的水容易加工这一特性,再给它加个盖子,那才是脱了裤子放屁,多此一举呢。

赵烨一个人蹲在实验室里,连着好多天都在看着这台设备发呆。

周围的人很多都不怎么认识赵烨,对他的研究风格非常好奇。

可是这些人注定是失望的,赵烨在众人眼前就是这么蹲着,一点多余的行为都没有。

既看不到赵烨做验算,也看不到赵烨画图纸。大家不免对赵烨的行为有了不好的猜测。也就是他过去的光环太耀眼了,否则说怪话的人肯定是少不了的。

就这样过了几天,一早来上班的人发现赵烨终于不再盯着那台光刻机看了。

因为他已经把这台机器给拆的七零八落。零零碎碎的各种零部件就摆放在一张帆布上。

“赵副处长,您怎么把这台设备给拆了?这可是要用来做实验的,咱们八号实验室就这么一台呀!”一个小头头见到这样的场景,跑过来就指责赵烨。

赵烨只是看了对方一眼,并没有多说话。

“赵副处长?你听到我说话了吗?你这个态度……”

“行了,行了。我听见了,责任我来负,你不用管。”赵烨见那人还想再说什么,终于忍不住打断了对方的说话。

“赵副处长,我们今天的实验可就没法再做了,完不成任务进度,这可不是我们的责任!”那个小头头立马就甩锅道。

“嗯,知道了。你去忙你的吧,另外你们的实验任务我知道,这样,你们小组今天就写总结报告,那个实验任务不用再做下去了。一会儿我给你们新的任务。”赵烨的话更不客气,说白了,那人只是一个小组长,还没有资格教赵烨做事。再说了,他怎么进来这个实验室的,赵烨心里一清二楚。

他确实是没有权利让他走人,不过,既然是进来了这里,服从上级管理和工作安排,这个是最起码的要求吧,总不至于这个都不行吧。

很抱歉,赵烨是这里的最高领导者。

那个说话的小组长当场就有些石化了,说真的,他们的实验任务都做了小半年了,不说顺风顺水吧,起码思路是已经有了的。剩下的就是熬时间,做验证,直到最佳的方桉被选出来。

可是现在,赵烨轻飘飘的一句话,他们这半年的心血就已经打水漂了。

赵烨是领导不假,可是他们也是有脾气的呀!

“赵副处长,我们小组需要一个解释!你不能随随便便就停掉我们的实验工作,这里面包含了我们…”

“行了行了,我知道你想说什么,是包含了你们半年多的心血是吧?”赵烨被人说的有些烦躁了,他放下手里的工作站起来,随手在自己的办公桌上拿起一叠文件,递给了对方。

“这是我弄出来的实验结果,配方和生产工艺流程都写在了上面。我就纳闷了,一个这么简单的东西你们弄了半年,你确定你是来这里搞研发的?不是来混日子的?”

小组长没有说话,只是拿着赵烨写的东西仔细的看。

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